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[화학.환경.화장품] FIB-SEM
  • 관리자
  • 2026-08-07 13:18:13
  • 조회수 78
    • FIB-SEM
    • DB550





(주)지에스이엠에서 제공한 CQT의 'FIB―SEM'의 사용 분야, 제품 특징, 제품 사양 그리고 제품 구성은 다음과 같다.

듀얼빔 시스템은 집속 이온빔(FIB)과 전자빔(SEM)을 결합한 시스템으로, Ga-FIB를 이용해 재료의 나노 가공을 수행하고, SEM을 통해 실시간 관찰을 한다.

사용 분야
1) 반도체 & 전자 부품, 2) 시료 단면 제작 및 TEM 준비, 3) 재료 과학, 4) 배터리, 5) 철강, 6) 화학

제품 특징
•DB550은 나노 분석 및 시료 준비를 위한 FIB(Focused Ion Beam) 컬럼을 적용한 FE-SEM(Field Emission SEM)으로 ‘Super Tunnel’ 전자광학 기술과 무자성 대물렌즈 설계가 적용되어 나노규모의 분석능력을 보장하는 저전압 및 고해상도 FIB이다.
•이온 컬럼은 Ga+ 액체 금속 이온원을 적용해 고도로 안정적이고 균일한 고품질 이온 빔을 제공하며, 이를 통해 나노 스케일 시료 제작을 정밀하고 용이하게 수행할 수 있다.
•DB550은 Nano manipulator, 가스주입시스템(GIS), 대물렌즈용 전기 오염 방지 메커니즘 등 24개의 확장 포트 제공이 가능하며, 종합적인 구성과 확장성을 갖춘 만능 나노 분석 및 제작 플랫폼이다.

제품 사양
<Electron beam system>
- Electron gun: High brightness schottky FEG
- Resolution: 0.9nm@15KV
- Acc. voltage: 20V-30KV
<Ion beam system>
- Ion source: Gallium Ion Beam
- Resolution: 3nm@30KV
- Acc. voltage: 500V-30KV

제품 구성
•Electron Column / Ion Column / Gas Injection System / Nano-manipulator / Airlock / Knob control panel & trackball / Operation software & Workstation

'FIB―SEM'에 대한 상세한 내용은 (주)지에스이엠을 통하여 확인 가능하다.

Reference(참고자료):
DB550 카다로그


Maker(제조사): CQT 
Country of Origin(원산지): China
Data Services(자료제공): (주)지에스이엠

<이 기사는 사이언스21 매거진 2026년 8월호에 게재 되었습니다.>


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